一種雙懸臂梁波導(dǎo)耦合光電式MEMS觸覺(jué)傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010867163.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111732068B | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111732068B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-02 |
| 分類號(hào) | B81B3/00(2006.01)I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 何云;劉桂芝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海南麟集成電路有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海南麟集成電路有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種雙懸臂梁波導(dǎo)耦合光電式MEMS觸覺(jué)傳感器及其制作方法，該傳感器包括襯底、發(fā)光二極管、光電檢測(cè)二極管、第一懸臂梁波導(dǎo)及第二懸臂梁波導(dǎo)，其中，發(fā)光二極管發(fā)出的部分光線通過(guò)第一懸臂梁波導(dǎo)進(jìn)行傳輸，并通過(guò)兩個(gè)懸臂梁波導(dǎo)之間的空氣或者介質(zhì)耦合到第二懸臂梁波導(dǎo)，最后傳輸?shù)焦怆姍z測(cè)二極管轉(zhuǎn)換為輸出電信號(hào)，外加觸覺(jué)力會(huì)改變兩個(gè)波導(dǎo)之間的光傳輸耦合比，根據(jù)光電檢測(cè)二極管的輸出電流變化可獲得觸覺(jué)力信息。本發(fā)明基于力?位移?光?電式檢測(cè)原理，具有靈敏度高、響應(yīng)速度快和抗電磁干擾能力強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)，器件結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，構(gòu)成傳感陣列后具有較高分辨率。該器件可利用成熟的MEMS工藝線進(jìn)行批量化加工，有利于降低生產(chǎn)成本。?? |
