一種MEMS觸覺傳感器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010501458.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111661815B 公開（公告）日 2021-01-19
申請公布號 CN111661815B 申請公布日 2021-01-19
分類號 B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/00;G01L1/24 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 劉桂芝;何云;王冬峰 申請（專利權(quán)）人 上海南麟集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉星
地址 201306 上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種MEMS觸覺傳感器及其制作方法，該MEMS觸覺傳感器包括襯底及位于襯底上的發(fā)光二極管、光電檢測二極管及懸臂梁波導(dǎo)，其中，懸臂梁波導(dǎo)位于發(fā)光二極管和光電檢測二極管中間，用于將發(fā)光二極管發(fā)出的光線耦合到光電檢測二極管中進(jìn)行檢測，外加觸覺力會改變懸臂梁波導(dǎo)的耦合比，通過光電檢測二極管的輸出電流可獲得觸覺力信息。本發(fā)明的MEMS觸覺傳感器采用新穎的力?位移?光?電式檢測原理，具有分辨率和靈敏度高、響應(yīng)速度快和抗電磁干擾能力強(qiáng)的優(yōu)勢，由于多個部件位于同一襯底上，器件結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。另外，傳感器還具有多功能集成化的潛力。本發(fā)明的觸覺傳感器可利用成熟的MEMS工藝線進(jìn)行加工，對批量化生產(chǎn)和降低生產(chǎn)成本具有重要意義。