一種MEMS觸覺(jué)傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010501458.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111661815A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111661815A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-15 |
| 分類號(hào) | B81B7/00(2006.01)I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 劉桂芝;何云;王冬峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海南麟集成電路有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海南麟集成電路有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種MEMS觸覺(jué)傳感器及其制作方法，該MEMS觸覺(jué)傳感器包括襯底及位于襯底上的發(fā)光二極管、光電檢測(cè)二極管及懸臂梁波導(dǎo)，其中，懸臂梁波導(dǎo)位于發(fā)光二極管和光電檢測(cè)二極管中間，用于將發(fā)光二極管發(fā)出的光線耦合到光電檢測(cè)二極管中進(jìn)行檢測(cè)，外加觸覺(jué)力會(huì)改變懸臂梁波導(dǎo)的耦合比，通過(guò)光電檢測(cè)二極管的輸出電流可獲得觸覺(jué)力信息。本發(fā)明的MEMS觸覺(jué)傳感器采用新穎的力?位移?光?電式檢測(cè)原理，具有分辨率和靈敏度高、響應(yīng)速度快和抗電磁干擾能力強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)，由于多個(gè)部件位于同一襯底上，器件結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。另外，傳感器還具有多功能集成化的潛力。本發(fā)明的觸覺(jué)傳感器可利用成熟的MEMS工藝線進(jìn)行加工，對(duì)批量化生產(chǎn)和降低生產(chǎn)成本具有重要意義。?? |
