一種轉(zhuǎn)移薄晶圓的吸附裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121363533.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215527694U 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN215527694U 申請公布日 2022-01-14
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 平登宏;劉奇;鄒應豪;王量;陳麗翔 申請（專利權）人 威科賽樂微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州市華學知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 黃宗波
地址 404000重慶市萬州區(qū)萬州經(jīng)開區(qū)高峰園檬子中路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶圓吸附設備技術領域，公開了一種轉(zhuǎn)移薄晶圓的吸附裝置，包括手柄和固定在手柄一端的吸盤，手柄內(nèi)安裝有真空發(fā)生器，吸盤上設有吸附組件，吸附組件包括開設于吸盤上的弧形槽和固定于吸盤上的弧形軟環(huán)，弧形軟環(huán)與弧形槽圍成真空通道，真空通道與真空發(fā)生器連通，弧形軟環(huán)背離吸盤的一側(cè)開設有多個吸附孔。本實用新型不僅能夠牢固地吸附產(chǎn)生翹曲的薄晶圓；而且材質(zhì)柔軟的弧形軟環(huán)能夠根據(jù)晶圓的外形產(chǎn)生適當?shù)男巫?，能夠減小對晶圓的壓力，從而減小破片幾率；并且弧形軟環(huán)與晶圓的接觸面積小，也能夠降低對晶圓的污染。