一種可調(diào)節(jié)翹曲的Vcsel外延結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121134870.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215528189U 公開（公告）日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215528189U 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類號(hào) H01S5/183（2006.01）I;H01S5/343（2006.01）I;H01S5/34（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張新勇;楊紹林;劉浩飛;苑匯帛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 威科賽樂微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃宗波
地址 404000重慶市萬州區(qū)萬州經(jīng)開區(qū)高峰園檬子中路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及激光芯片技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可調(diào)節(jié)翹曲的Vcsel外延結(jié)構(gòu)，包括襯底，所述襯底上依次沉積有緩沖層、N型摻雜的DBR、有源層、氧化限制層、P型摻雜的DBR和歐姆接觸層，所述N型摻雜的DBR和P型摻雜的DBR中周期性設(shè)置有應(yīng)力補(bǔ)償層。本實(shí)用新型公開了一種可調(diào)節(jié)翹曲的Vcsel外延結(jié)構(gòu)及其制備方法，通過周期性設(shè)置的應(yīng)力補(bǔ)償層，不僅能夠減少整個(gè)外延層應(yīng)力，提高外延層晶體質(zhì)量，同時(shí)還能夠降低外延片翹曲，提高外延片各參數(shù)的均勻性。