一種晶圓載具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121008418.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215527693U 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN215527693U 申請公布日 2022-01-14
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 來征;劉奇 申請（專利權(quán)）人 威科賽樂微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州市華學(xué)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃宗波
地址 404000重慶市萬州區(qū)萬州經(jīng)開區(qū)高峰園檬子中路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓載具，包括載盤，載盤上表面為晶圓吸附面，載盤上開設(shè)有若干階梯孔，載盤的底部一體成型有環(huán)體，環(huán)體內(nèi)滑動設(shè)置有調(diào)節(jié)盤，載盤、環(huán)體和調(diào)節(jié)盤三者形成調(diào)節(jié)腔，環(huán)體于載盤底部一體成型有安裝環(huán)，安裝環(huán)上一體成型有多根安裝柱，調(diào)節(jié)盤上開設(shè)有多個第一通孔，安裝柱上套設(shè)有壓縮彈簧，壓縮彈簧的一端與安裝環(huán)底面相接，另一端與調(diào)節(jié)盤頂面相接，調(diào)節(jié)盤上安裝有多個單向閥，環(huán)體的一側(cè)開設(shè)有通氣孔，通氣孔內(nèi)密封連接有氣閥，調(diào)節(jié)盤的底部設(shè)有調(diào)節(jié)件。解決現(xiàn)有技術(shù)晶圓移動至載臺上的過程中極易破片，且真空吸盤固定晶圓時，晶圓各處的吸力不同，容易導(dǎo)致晶圓翹曲，影響晶圓的測試效果的問題。