一種光罩清洗裝置及其清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111124378.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114011791A 公開（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114011791A 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類號(hào) B08B3/08（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 金龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 威科賽樂微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃宗波
地址 404000重慶市萬州區(qū)萬州經(jīng)開區(qū)高峰園檬子中路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光罩清洗裝置及其清洗方法，涉及光罩清洗技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的一種光罩清洗裝置，包括機(jī)體，設(shè)置于機(jī)體內(nèi)的置物臺(tái)、藥液浸泡槽和刷洗槽，于所述藥液浸泡槽的上方固定安裝有第一抓取模塊，所述刷洗槽的上方固定安裝有第二抓取模塊，于所述藥液浸泡槽對(duì)應(yīng)的位置安裝有第一刷洗組件，所述刷洗槽對(duì)應(yīng)的位置固定安裝有第二刷洗組件。本發(fā)明公開了一種光罩清洗裝置及其清洗方法，采用多槽自動(dòng)清洗模式，能夠?qū)庹诌M(jìn)行多次清洗，清洗效果更好，且減少了人工操作的步驟，節(jié)省了大量人力。