一種磷化銦籽晶的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111277149.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114161590A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114161590A 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類號(hào) B28D5/00（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I;C30B33/00（2006.01）I;C30B11/14（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 傅偉力;李勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 威科賽樂(lè)微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃宗波
地址 404000重慶市萬(wàn)州區(qū)萬(wàn)州經(jīng)開(kāi)區(qū)高峰園檬子中路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種磷化銦籽晶的制備方法，涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的一種磷化銦籽晶的制備方法，所述制備方法是對(duì)磷化銦單晶進(jìn)行角度調(diào)整，并通過(guò)測(cè)試得到合格區(qū)域后，再進(jìn)行鉆取、打磨、拋光得到磷化銦籽晶。本發(fā)明公開(kāi)了一種磷化銦籽晶的制備方法，不僅可以快速制備磷化銦籽晶，操作工藝簡(jiǎn)單快捷，不受晶體形狀及晶向角度影響，且處理后的籽晶表面光滑平整、性質(zhì)穩(wěn)定，大大提高了磷化銦單晶的晶體生長(zhǎng)質(zhì)量。