薄膜體聲波諧振器和濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920389026.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209642637U 公開（公告）日 2019-11-15
申請公布號 CN209642637U 申請公布日 2019-11-15
分類號 H03H3/02;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/17 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 劉紹侃;李善斌;史曉婷;霍俊標;張雪奎;董謙 申請（專利權）人 浙江華遠微電科技有限公司
代理機構 深圳市恒申知識產權事務所（普通合伙） 代理人 深圳華遠微電科技有限公司;北京中訊四方科技股份有限公司
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道新二社區(qū)莊村路5號D、E棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種薄膜體聲波諧振器和薄膜體聲波濾波器。本實用新型薄膜體聲波諧振器包括硅襯底、支撐層、第一底電極層、溫飄層和三明治壓電堆結構，所述支撐層層疊結合在所述襯底的開設有所述凹槽的所述表面上，并由所述支撐層和凹槽圍合成封閉的空腔，所述第一底電極層層疊結合在所述支撐層的背離所述襯底的表面上，所述溫飄層疊結合在所述第一底電極的背離所述支撐層的表面上，所述三明治壓電堆結構層疊在所述溫飄層的背離所述第一底電極層的表面上。所述薄膜體聲波濾波器包括所述薄膜體聲波諧振器。本實用新型薄膜體聲波濾波器和諧振器耗低、溫度系數(shù)小、溫飄低、功率承受力高、工作頻率高、機電耦合系數(shù)高、兼容性好，而且具有很好的Q值。