一種樣品托、樣品托組件及等離子體化學氣相沉積設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120203772.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214383795U 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN214383795U 申請公布日 2021-10-12
分類號 C23C16/458（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃春林;胡宗義;季宇 申請（專利權(quán)）人 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 孔鵬
地址 610000四川省成都市成華區(qū)龍?zhí)犊偛拷?jīng)濟城華冠路192號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種樣品托、樣品托組件及等離子化學氣相沉積設備，屬于等離子體設備領(lǐng)域。樣品托組件包括基底及樣品托，基體上設置有安裝凹槽，樣品托固定設置在安裝凹槽中。上述樣品托包括一體成型的樣品托本體及導熱凸臺，導熱凸臺設置在樣品托本體的底面。使用時，導熱凸臺與基底直接或間接接觸。由于樣品托中心溫度高于邊緣溫度，而樣品托中心的熱量可以通過導熱凸臺傳遞到基底上，進而提高樣品托的溫度均勻性，提高固態(tài)膜的品質(zhì)。