一種波導(dǎo)單元以及等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023340298.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214177873U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214177873U 申請公布日 2021-09-10
分類號 H05K7/20（2006.01）I;H01P3/00（2006.01）I;C23C16/511（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 黃春林;胡宗義;劉文科 申請（專利權(quán)）人 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 孔鵬
地址 610000四川省成都市成華區(qū)龍?zhí)犊偛拷?jīng)濟(jì)城華冠路192號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種波導(dǎo)單元以及等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，屬于微波傳導(dǎo)技術(shù)領(lǐng)域，波導(dǎo)單元設(shè)置有通道，波導(dǎo)單元包括至少一個第一散熱壁，該第一散熱壁設(shè)置有第一進(jìn)水口和第一出水口，第一進(jìn)水口與第一出水口通過第一流道連通，第一流道位于第一散熱壁內(nèi)。本實施例公開的波導(dǎo)單元直接將用于供冷卻水通過的第一流道設(shè)置在波導(dǎo)單元的側(cè)壁內(nèi)，由第一進(jìn)水口和第一出水口令第一流道內(nèi)的冷卻水與外界形成循環(huán)，冷卻水流速穩(wěn)定，冷卻水與通道間隔距離小，冷卻效果較佳，且冷卻水沿第一流道流動，流動較為均勻，具有較強(qiáng)的流動指向性，使第一流道內(nèi)各處的冷卻水溫度較為一致，從而提升冷卻效果。