電源保護(hù)電路、電源模塊及等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120300403.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214314520U 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214314520U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H02H3/00（2006.01）I;H02H11/00（2006.01）I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 張宏;李杰;季宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 孔鵬
地址 610000四川省成都市成華區(qū)龍?zhí)犊偛拷?jīng)濟(jì)城華冠路192號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例提出一種電源保護(hù)電路、電源模塊及等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，涉及電源技術(shù)領(lǐng)域。該電源保護(hù)電路包括相序保護(hù)單元和控制器，相序保護(hù)單元與控制器電連接，相序保護(hù)單元與供電電源電連接，控制器與受控模塊電連接；相序保護(hù)單元用于采集供電電源的供電電壓，并將供電電壓傳輸至控制器；控制器用于判斷供電電壓是否異常，若供電電壓異常，則控制受控模塊停止工作。本實(shí)用新型提供的電源保護(hù)電路和電源模塊，具有電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和可靠性高的優(yōu)點(diǎn)。