微波等離子體化學氣相沉積MPCVD系統(tǒng)的保護電路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120375705.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214304303U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214304303U 申請公布日 2021-09-28
分類號 F04B49/06（2006.01）I;F04B49/02（2006.01）I;F04B41/06（2006.01）I;F04B37/14（2006.01）I;C23C16/511（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 張宏;李杰;季宇 申請（專利權(quán)）人 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京卓恒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 孔鵬
地址 610000四川省成都市成華區(qū)龍?zhí)犊偛拷?jīng)濟城華冠路192號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N微波等離子體化學氣相沉積MPCVD系統(tǒng)的保護電路，設(shè)置于MPCVD系統(tǒng)，該MPCVD系統(tǒng)包括真空泵，保護電路包括自動控制開關(guān)、手動控制開關(guān)、控制器和觸摸屏，控制器與觸摸屏電連接；真空泵通過自動控制開關(guān)以及手動控制開關(guān)與電源連接；自動控制開關(guān)和手動控制開關(guān)均與控制器電連接。其中，手動控制開關(guān)的閉合與斷開只能由運維人員手動控制，運維人員可以在控制程序故障且不能通過控制面板控制系統(tǒng)的運行時，手動控制手動控制開關(guān)斷開，提高系統(tǒng)的安全性。自動控制開關(guān)可以在真空泵運行出現(xiàn)異常時自動斷開，進一步提高的安全性。并且，觸摸屏可以顯示上述控制開關(guān)的通斷狀態(tài)，能夠直觀地提示上述保護電路的運行狀況。