一種基于MicroLED的顯示裝置的制作方法以及顯示裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210286105.2 申請日 -
公開(公告)號 CN114664983A 公開(公告)日 2022-06-24
申請公布號 CN114664983A 申請公布日 2022-06-24
分類號 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/62(2010.01)I;H01L27/15(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李軍帥;孔瑋;孫雪純;樓巧珍;朱浩捷 申請(專利權)人 西湖大學
代理機構 北京金信知識產權代理有限公司 代理人 -
地址 310024浙江省杭州市西湖區(qū)轉塘街道石龍山街18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開實施例提供一種基于Micro LED的顯示裝置的制作方法以及顯示裝置,所述制作方法包括:在驅動背板上按照預定規(guī)則設置標志位;在所述驅動背板上沿垂直方向依次設置至少一個LED外延層;在所述驅動背板上基于所述標志位對所述LED外延層進行階梯型光刻以實現(xiàn)像素的橫向排布。本公開實施例采用像素堆疊轉移和設置的方法能夠避免多次轉移的鍵合對準操作,使得像素實現(xiàn)平行排布,不需進行垂直方向上的光隔離,無需進行巨量重復排布,降低工藝難度,極大的簡化混色過程,有效提高Micro LED顯示裝置的良率,最終促成基于Micro LED顯示的高性能AR/MR/VR設備的市場應用。