多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中各組分含量的檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811494460.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111289689A | 公開（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111289689A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-16 |
| 分類號(hào) | G01N33/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 馬新芳;邱艷梅;劉國(guó)霞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公司 |
| 地址 | 831500新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊市甘泉堡經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（工業(yè)園）面廣東街2499號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中各組分含量的檢測(cè)方法及檢測(cè)系統(tǒng)，該方法包括以下步驟：除去未處理的待測(cè)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中的氯硅烷，然后通入堿溶液吸收氯化氫來(lái)測(cè)定其中氯化氫的含量，再測(cè)定其中氫氣的含量、氧氣的含量；除去未處理的待測(cè)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中的氯化氫，再測(cè)定其中氯硅烷的含量；根據(jù)未處理的待測(cè)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中的氯化氫的含量、氫氣的含量、氧氣的含量、氯硅烷的含量，計(jì)算未處理的待測(cè)多晶硅生產(chǎn)中的尾氣中的氮?dú)夂?。該方法可以?zhǔn)確測(cè)定多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工序的尾氣中各組分含量，在每一種氣體含量檢測(cè)之前，均對(duì)干擾因子進(jìn)行了去除，確保每一過(guò)程均為單項(xiàng)檢測(cè)，確保了檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。?? |
