用于分析氯硅烷中痕量雜質(zhì)的前處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822083005.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209690000U 公開（公告）日 2019-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN209690000U 申請(qǐng)公布日 2019-11-26
分類號(hào) G01N1/28（2006.01）; G01N1/44（2006.01） 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 羅建文; 邱艷梅; 劉國霞; 曾鳳; 羅丹; 陳星; 唐華華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 新疆新特新能材料檢測(cè)中心有限公司
地址 831500 新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊市甘泉堡經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（工業(yè)園）面廣東街2499號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)施例公開了一種用于分析氯硅烷中痕量雜質(zhì)的前處理系統(tǒng)，包括：消解罐，包括：罐體和蓋設(shè)于罐體上的蓋體，罐體與蓋體密封連接，罐體用于盛放待處理的氯硅烷樣品，蓋體上開設(shè)有第一開口、第二開口；第一管道，第一管道與第一開口密封連接，第一管道的第一端穿過第一開口且位于罐體內(nèi)，第一管道用于向消解罐內(nèi)通入載氣；第二管道，第二管道與第二開口密封連接，第二管道的第一端穿過第二開口且位于罐體內(nèi)，第二管道用于輸出負(fù)載有氯硅烷的載氣；加熱裝置，其上設(shè)置有加熱區(qū)，加熱區(qū)用于容納消解罐并對(duì)其進(jìn)行加熱。該前處理系統(tǒng)避免了待處理的氯硅烷樣品受到二次污染，且通過載氣的攜帶蒸發(fā)出來的氯硅烷，可減少蒸發(fā)氯硅烷的時(shí)間，提高工作效率。