用以由發(fā)光二極管移除熱量的系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200680002135.5 申請日 -
公開（公告）號 CN100487890C 公開（公告）日 2009-05-13
申請公布號 CN100487890C 申請公布日 2009-05-13
分類號 H01L23/34(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L23/40(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 段忠;陳長安 申請（專利權(quán)）人 旭瑞光電股份有限公司
代理機構(gòu) 永新專利商標代理有限公司 代理人 美商旭明國際股份有限公司;佛山市國星半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
地址 美國愛達荷州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種發(fā)光二極管的制造方法，包括：提供基板；在基板上形成一多層磊晶結(jié)構(gòu)；利用電化學(xué)沉積，在多層磊晶結(jié)構(gòu)上沉積一或多層金屬層；利用蝕刻定義出一或多個臺面；形成一或多層非導(dǎo)電層；移除一部分的非導(dǎo)電層；沉積至少一或多層金屬層；直接在非導(dǎo)電層上方所沉積的金屬層中形成一個或多個熱量移除結(jié)構(gòu)；以及移除基板；其中熱量移除結(jié)構(gòu)的形貌表面增加因子不小于1.1。