一種自適應(yīng)太赫茲反射式測量系統(tǒng)對焦裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110228548.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113030004A | 公開(公告)日 | 2021-06-25 |
申請公布號 | CN113030004A | 申請公布日 | 2021-06-25 |
分類號 | G01N21/3586;G01N21/01 | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 朱新勇;郭永玲;劉永利;張磊;王玉建;張朝惠 | 申請(專利權(quán))人 | 青島青源峰達(dá)太赫茲科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 青島高曉專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 付麗麗 |
地址 | 266000 山東省青島市嶗山區(qū)九水東路600號青島高層次人才創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基地C座東側(cè)1-3層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種自適應(yīng)太赫茲反射式測量系統(tǒng)對焦裝置,包括樣品自適應(yīng)調(diào)整臺、樣品自適應(yīng)調(diào)整控制模塊和太赫茲信號監(jiān)測處理模塊,樣品自適應(yīng)調(diào)整臺置于第一聚焦透鏡和第二聚焦透鏡下側(cè)且垂直于反射光路所在平面,太赫茲信號監(jiān)測處理模塊用于實時獲取太赫茲時域光譜信號、確定待測樣品需要檢測的位置對應(yīng)的太赫茲反射峰并將所述太赫茲反射峰強(qiáng)度實時發(fā)送給樣品自適應(yīng)調(diào)整控制模塊,樣品自適應(yīng)調(diào)整控制模塊與樣品自適應(yīng)調(diào)整臺連接,用于根據(jù)接收到的太赫茲時域光譜信號調(diào)整樣品自適應(yīng)調(diào)整臺上下運動,至待測樣品需要檢測的位置處于反射光路的焦點位置。其將人為調(diào)節(jié)改為自動調(diào)節(jié),減少了操作人員調(diào)節(jié)的人力成本,很大程度的縮短了時間成本。 |
