一種自適應(yīng)太赫茲反射式測量系統(tǒng)對焦裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110228548.1 申請日 -
公開(公告)號 CN113030004A 公開(公告)日 2021-06-25
申請公布號 CN113030004A 申請公布日 2021-06-25
分類號 G01N21/3586;G01N21/01 分類 測量;測試;
發(fā)明人 朱新勇;郭永玲;劉永利;張磊;王玉建;張朝惠 申請(專利權(quán))人 青島青源峰達(dá)太赫茲科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島高曉專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 付麗麗
地址 266000 山東省青島市嶗山區(qū)九水東路600號青島高層次人才創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基地C座東側(cè)1-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自適應(yīng)太赫茲反射式測量系統(tǒng)對焦裝置,包括樣品自適應(yīng)調(diào)整臺、樣品自適應(yīng)調(diào)整控制模塊和太赫茲信號監(jiān)測處理模塊,樣品自適應(yīng)調(diào)整臺置于第一聚焦透鏡和第二聚焦透鏡下側(cè)且垂直于反射光路所在平面,太赫茲信號監(jiān)測處理模塊用于實時獲取太赫茲時域光譜信號、確定待測樣品需要檢測的位置對應(yīng)的太赫茲反射峰并將所述太赫茲反射峰強(qiáng)度實時發(fā)送給樣品自適應(yīng)調(diào)整控制模塊,樣品自適應(yīng)調(diào)整控制模塊與樣品自適應(yīng)調(diào)整臺連接,用于根據(jù)接收到的太赫茲時域光譜信號調(diào)整樣品自適應(yīng)調(diào)整臺上下運動,至待測樣品需要檢測的位置處于反射光路的焦點位置。其將人為調(diào)節(jié)改為自動調(diào)節(jié),減少了操作人員調(diào)節(jié)的人力成本,很大程度的縮短了時間成本。