一種密封式旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> 202011101020X 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112246554A 公開(公告)日 2021-01-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN112246554A 申請(qǐng)公布日 2021-01-22
分類號(hào) B05C11/08(2006.01)I; 分類 一般噴射或霧化;對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 汪竹;陳酉冰;魏益波;劉正偉 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市權(quán)益專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳強(qiáng)
地址 214400江蘇省無錫市江陰市高新區(qū)金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園數(shù)碼港A座5樓南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種密封式旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,包含有主機(jī)架(3),所述主機(jī)架(3)上豎向設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)主軸(10),所述轉(zhuǎn)動(dòng)主軸(10)由主動(dòng)力機(jī)構(gòu)(7)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),載物盤(4)固定安裝于轉(zhuǎn)動(dòng)主軸(10)的頂部,且載物盤(4)位于主機(jī)架(3)的平臺(tái)面上方,基片頂升機(jī)構(gòu)(9)安裝于主機(jī)架(3)的平臺(tái)面下方,且基片頂升機(jī)構(gòu)(9)的頂升件向上穿過主機(jī)架(3)的平臺(tái)面,載物盤(4)上方設(shè)置有同步蓋(2),且同步蓋(2)的頂部中心軸旋轉(zhuǎn)插接在同步蓋提升機(jī)構(gòu)(1)上。本發(fā)明一種密封式旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,能夠方便的對(duì)超大尺寸基片進(jìn)行旋涂勻膠。??