一種密封式旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022291277.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214021741U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN214021741U 申請公布日 2021-08-24
分類號 B05C11/08（2006.01）I;B05C15/00（2006.01）I;B05D3/04（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 汪竹;陳酉冰;魏益波;劉正偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
代理機構(gòu) 江陰市權(quán)益專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳強
地址 214400江蘇省無錫市江陰市高新區(qū)金山路201號創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園數(shù)碼港A座5樓南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型一種密封式旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，包含有主機架（3），所述主機架（3）上豎向設(shè)置有轉(zhuǎn)動主軸（10），所述轉(zhuǎn)動主軸（10）由主動力機構(gòu)（7）驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，載物盤（4）固定安裝于轉(zhuǎn)動主軸（10）的頂部，且載物盤（4）位于主機架（3）的平臺面上方，基片頂升機構(gòu)（9）安裝于主機架（3）的平臺面下方，且基片頂升機構(gòu)（9）的頂升件向上穿過主機架（3）的平臺面，載物盤（4）上方設(shè)置有同步蓋（2），且同步蓋（2）的頂部中心軸旋轉(zhuǎn)插接在同步蓋提升機構(gòu)（1）上。本實用新型一種密封式旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，能夠方便的對超大尺寸基片進(jìn)行旋涂勻膠。