一種鉬合金管靶的生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210293479.3 申請日 -
公開（公告）號 CN102806353B 公開（公告）日 2015-03-11
申請公布號 CN102806353B 申請公布日 2015-03-11
分類號 B22F5/10(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 鐘小亮;王廣欣;王樹森 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶純新材料有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 代理人 汪青
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港市國泰北路1號留學生創(chuàng)業(yè)園D-102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鉬合金管靶的生產(chǎn)方法，其通過將預合金粉末置于專用包套中，在真空條件下進行熱等靜壓形成管靶，專用包套包括同軸設置的不銹鋼內(nèi)管和低碳鋼外管以及用于固定不銹鋼內(nèi)管和低碳鋼外管的兩端的固定座，不銹鋼內(nèi)管為適合作為鉬合金管靶的襯管的無磁性或弱磁性不銹鋼管，低碳鋼外管的壁厚小于不銹鋼內(nèi)管的壁厚，且低碳鋼外管的內(nèi)徑與不銹鋼內(nèi)管的外徑的差值為靶管的厚度的2.1~2.3倍，低碳鋼外管上預焊有抽氣管，熱等靜壓的溫度為1000℃~1200℃，壓力大于等于100MPa。本發(fā)明所得鉬合金管靶成分均勻、無可見偏析，鈀管與襯管之間結(jié)合緊密，晶粒細小、純度高，能夠滿足液晶顯示和觸控屏行業(yè)要求。