一種穩(wěn)定氣體出氣量的控制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821161140.7 申請日 -
公開（公告）號 CN208562594U 公開（公告）日 2019-03-01
申請公布號 CN208562594U 申請公布日 2019-03-01
分類號 C30B31/16（2006.01）I; C30B31/18（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 胡學(xué)一; 楊輝; 吳而義; 支凱飛 申請（專利權(quán)）人 洛陽尚德太陽能電力有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 壽寧;張華輝
地址 471000 河南省洛陽市中國（河南）自由貿(mào)易試驗區(qū)洛陽片區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)華夏路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種穩(wěn)定氣體出氣量的控制器，控制器由殼體組成，殼體內(nèi)部形成有空腔，殼體左側(cè)內(nèi)壁中間固定有彈簧，彈簧另一端固定有閥門，殼體右側(cè)面設(shè)有第一出氣口，第一出氣口凸出殼體右側(cè)面且其外壁帶有螺紋，殼體右側(cè)面內(nèi)壁設(shè)置有擋塊，擋塊的內(nèi)壁呈漏斗狀，形成漏斗狀空腔，該漏斗狀空腔與第一出氣口連通；閥門為錐體狀，其側(cè)壁的傾斜角度與擋塊漏斗狀內(nèi)壁的傾斜角度一致，控制器殼體上還設(shè)置有第二出氣口；控制器通過旁路與擴(kuò)散源瓶出氣管連接，控制器與旁路螺紋連接。本實用新型可根據(jù)擴(kuò)散源瓶出氣量的變化，自動調(diào)整管內(nèi)氣壓，從而控制通入擴(kuò)散管內(nèi)的三氯氧磷氣體分子量，不需要人工對擴(kuò)散工藝參數(shù)頻繁調(diào)整，制程穩(wěn)定。