晶硅太陽(yáng)能電池管式PECVD預(yù)熱儲(chǔ)舟裝置及鍍膜方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810989882.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108950514B 公開（公告）日 2020-05-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN108950514B 申請(qǐng)公布日 2020-05-12
分類號(hào) C23C16/02;C23C16/34;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/513 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 支凱飛;楊輝;李偉樂(lè);胡學(xué)一;吳而義 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)尚德太陽(yáng)能電力有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 壽寧;張華輝
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市中國(guó)（河南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽(yáng)片區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)華夏路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶硅太陽(yáng)能電池管式PECVD預(yù)熱儲(chǔ)舟裝置及鍍膜方法，取消原儲(chǔ)舟架，在原儲(chǔ)舟架位置及同一直線上增加傳動(dòng)軌道A和傳動(dòng)軌道B，傳動(dòng)軌道B正上方裝有預(yù)熱儲(chǔ)舟箱，傳動(dòng)托盤在兩個(gè)軌道之間滑動(dòng)。工作時(shí)，傳動(dòng)托盤先位于軌道A上，機(jī)械臂將石墨舟裝到傳動(dòng)托盤上，傳動(dòng)托盤攜帶石墨舟運(yùn)送至軌道B上裝載到預(yù)熱儲(chǔ)舟箱內(nèi)，在箱內(nèi)利用等待空管的時(shí)間對(duì)石墨舟預(yù)熱，同時(shí)利用空氣中的氧氣對(duì)硅片氧化，可節(jié)省刻蝕下料處的臭氧氧化工序，待有空管時(shí)，傳動(dòng)托盤及石墨舟被傳送至軌道A上，之后進(jìn)入空管鍍膜。由于石墨舟已經(jīng)提前預(yù)熱并氧化，使鍍膜工藝省去了原有的升溫步驟，管內(nèi)整個(gè)工藝周期縮短了13.7min左右，產(chǎn)量提升了50％。