晶硅太陽能電池管式PECVD預(yù)熱儲舟裝置及鍍膜方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810989882.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108950514A 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN108950514A 申請公布日 2018-12-07
分類號 C23C16/02;C23C16/34;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/513 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 支凱飛;楊輝;李偉樂;胡學(xué)一;吳而義 申請（專利權(quán)）人 洛陽尚德太陽能電力有限公司
代理機構(gòu) 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 壽寧;張華輝
地址 471000 河南省洛陽市中國(河南)自由貿(mào)易試驗區(qū)洛陽片區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)華夏路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶硅太陽能電池管式PECVD預(yù)熱儲舟裝置及鍍膜方法，取消原儲舟架，在原儲舟架位置及同一直線上增加傳動軌道A和傳動軌道B，傳動軌道B正上方裝有預(yù)熱儲舟箱，傳動托盤在兩個軌道之間滑動。工作時，傳動托盤先位于軌道A上，機械臂將石墨舟裝到傳動托盤上，傳動托盤攜帶石墨舟運送至軌道B上裝載到預(yù)熱儲舟箱內(nèi)，在箱內(nèi)利用等待空管的時間對石墨舟預(yù)熱，同時利用空氣中的氧氣對硅片氧化，可節(jié)省刻蝕下料處的臭氧氧化工序，待有空管時，傳動托盤及石墨舟被傳送至軌道A上，之后進入空管鍍膜。由于石墨舟已經(jīng)提前預(yù)熱并氧化，使鍍膜工藝省去了原有的升溫步驟，管內(nèi)整個工藝周期縮短了13.7min左右，產(chǎn)量提升了50％。