一種晶硅太陽(yáng)能電池石墨舟預(yù)處理方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810037001.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN108598211B 公開(kāi)(公告)日 2020-05-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN108598211B 申請(qǐng)公布日 2020-05-01
分類號(hào) H01L31/18;H01L21/673 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 支凱飛;楊輝;李偉樂(lè);胡學(xué)一;吳而義 申請(qǐng)(專利權(quán))人 洛陽(yáng)尚德太陽(yáng)能電力有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 壽寧;張華輝
地址 471003 河南省洛陽(yáng)市中國(guó)(河南)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽(yáng)片區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)華夏路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶硅太陽(yáng)能電池石墨舟預(yù)處理方法,將相鄰石墨舟片上對(duì)應(yīng)的每對(duì)定位卡點(diǎn)均用陶瓷環(huán)套住,然后將石墨舟放入PEVCD設(shè)備上舟區(qū)域,進(jìn)行第一遍預(yù)處理;第一遍預(yù)處理結(jié)束后,將石墨舟上的螺母松開(kāi),使用手指撥動(dòng)兩片相鄰的石墨舟片,石墨舟片之間間距增大,陶瓷環(huán)自動(dòng)掉落,再將螺母擰緊,將石墨舟放入PEVCD設(shè)備上舟區(qū)域,運(yùn)行第二遍預(yù)處理工藝;第二遍預(yù)處理工藝分兩步進(jìn)行,兩步工藝的參數(shù)不同。本發(fā)明的預(yù)處理方法使石墨舟在特定條件下,卡點(diǎn)僅進(jìn)行一遍預(yù)沉積,石墨舟其它部位進(jìn)行兩遍預(yù)沉積,預(yù)處理后的石墨舟承載硅片鍍膜,減少了硅片色差的產(chǎn)生,提高了整體鍍膜的均勻性,且降低了處理成本,更易推廣使用。