一種用于熱等靜壓Cr基靶材錠坯的裝粉裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021085352.9 申請日 -
公開（公告）號 CN211360655U 公開（公告）日 2020-08-28
申請公布號 CN211360655U 申請公布日 2020-08-28
分類號 B22F3/15(2006.01)I;B22F3/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張鳳戈;魏鐵峰;岳萬祥;張欠男 申請（專利權(quán)）人 涿州安泰六九新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
地址 100081北京市海淀區(qū)學院南路76號17幢一層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于熱等靜壓Cr基靶材錠坯的裝粉裝置，所述裝粉裝置包括：包套主體、包套上蓋和包套下蓋；所述包套上蓋蓋設在所述包套主體上端，所述包套下蓋設置在所述包套主體底端，所述包套主體、所述包套上蓋和所述包套下蓋合圍成一個腔體，所述包套主體的內(nèi)側(cè)面、所述包套上蓋的底部端面和所述包套下蓋的上表面上均設置有耐高溫涂層；涂層材料可選用Al2O3、TiO2、ZrO2等氧化物。本裝置通過在包套主體、包套上蓋和包套下蓋的內(nèi)表面增加一層耐高溫涂層，阻止HIP過程中包套中Fe和Cr之間的合金化，有效抑制皮下裂紋的產(chǎn)生，從而可以減小包套的設計尺寸，提升材料利用率，降低靶材成本。??