一種化學(xué)機(jī)械拋光頭和拋光系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111209062.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113878488A 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN113878488A 申請公布日 2022-01-04
分類號 B24B37/00（2012.01）I;B24B37/20（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B53/12（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 孟松林 申請（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號院40號樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械拋光頭和拋光系統(tǒng)，所述化學(xué)機(jī)械拋光頭包括聯(lián)軸盤、承載盤、彈性膜和保持環(huán)，所述承載盤通過連接膜與所述聯(lián)軸盤固定，所述彈性膜通過固定壓環(huán)安裝于所述承載盤的底部，所述保持環(huán)設(shè)置于所述彈性膜的外周側(cè)并位于承載盤的底部；還包括環(huán)狀膜，其固定于承載盤的底部并位于彈性膜的上側(cè)；加壓后的環(huán)狀膜抵壓于所述彈性膜的頂部，以將環(huán)狀膜施加的載荷經(jīng)由彈性膜向下傳遞。