具有可調(diào)節(jié)的吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)的磨削設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010748283.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111730430B 公開（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN111730430B 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) B24B7/06（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/00（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/22（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王江濤;趙德文;劉遠(yuǎn)航;李長坤;路新春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號(hào)院40號(hào)樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有可調(diào)節(jié)的吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)的磨削設(shè)備，包括：工作臺(tái)、吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)、和用于使砂輪抵接晶圓進(jìn)行磨削的磨削工具，以及，角度調(diào)節(jié)裝置，其包括與吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)連接的第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件，第一調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)的中軸線與第一定向的夾角，第二調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)的中軸線與第二定向的夾角；第一定向與第二定向正交于吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)中心并且二者組成的直角坐標(biāo)系平面平行于吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)上表面，第一定向垂直于在砂輪對(duì)晶圓磨削時(shí)砂輪與晶圓接觸的兩個(gè)端點(diǎn)連線。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓磨削面形的準(zhǔn)確控制，提高了晶圓的加工效果和制造品質(zhì)，從而為超高密度的半導(dǎo)體堆疊制程提供技術(shù)保障，是半導(dǎo)體高密度封裝發(fā)展等的重要組成。