具有可調(diào)節(jié)的吸盤轉(zhuǎn)臺的磨削設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010748283.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111730430B 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN111730430B 申請公布日 2021-10-15
分類號 B24B7/06（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/00（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/22（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王江濤;趙德文;劉遠航;李長坤;路新春 申請（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號院40號樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有可調(diào)節(jié)的吸盤轉(zhuǎn)臺的磨削設(shè)備，包括：工作臺、吸盤轉(zhuǎn)臺、和用于使砂輪抵接晶圓進行磨削的磨削工具，以及，角度調(diào)節(jié)裝置，其包括與吸盤轉(zhuǎn)臺連接的第一調(diào)節(jié)組件和第二調(diào)節(jié)組件，第一調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)吸盤轉(zhuǎn)臺的中軸線與第一定向的夾角，第二調(diào)節(jié)組件用于調(diào)節(jié)吸盤轉(zhuǎn)臺的中軸線與第二定向的夾角；第一定向與第二定向正交于吸盤轉(zhuǎn)臺中心并且二者組成的直角坐標系平面平行于吸盤轉(zhuǎn)臺上表面，第一定向垂直于在砂輪對晶圓磨削時砂輪與晶圓接觸的兩個端點連線。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓磨削面形的準確控制，提高了晶圓的加工效果和制造品質(zhì)，從而為超高密度的半導(dǎo)體堆疊制程提供技術(shù)保障，是半導(dǎo)體高密度封裝發(fā)展等的重要組成。