具有差動(dòng)螺紋結(jié)構(gòu)的磨削設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010748282.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111823084B 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN111823084B 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/22;B24B49/00;B24B49/12;B24B57/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 付永旭;劉遠(yuǎn)航;趙德文;李長(zhǎng)坤;路新春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號(hào)院40號(hào)樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有差動(dòng)螺紋結(jié)構(gòu)的磨削設(shè)備，包括工作臺(tái)、吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)、磨削工具、以及角度調(diào)節(jié)裝置，其包括與吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)連接的第一差動(dòng)螺紋組件和第二差動(dòng)螺紋組件，第一差動(dòng)螺紋組件用于使吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)繞第二定向轉(zhuǎn)動(dòng)，第二差動(dòng)螺紋組件用于使吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)繞第一定向轉(zhuǎn)動(dòng)；第一差動(dòng)螺紋組件和第二差動(dòng)螺紋組件均通過(guò)差動(dòng)螺紋結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)；第一定向與第二定向正交于吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)中心并且二者組成的直角坐標(biāo)系平面平行于吸盤轉(zhuǎn)臺(tái)上表面，第一定向垂直于在砂輪對(duì)晶圓磨削時(shí)砂輪與晶圓接觸的兩個(gè)端點(diǎn)連線。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓磨削面形的準(zhǔn)確控制，提高了加工效果和制造品質(zhì)，從而為超高密度的半導(dǎo)體堆疊制程提供技術(shù)保障，是半導(dǎo)體高密度封裝發(fā)展等的重要組成。