一種拋光液供給裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111264391.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113953968A 公開（公告）日 2022-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113953968A 申請(qǐng)公布日 2022-01-21
分類號(hào) B24B37/10（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/00（2012.01）I;B24B47/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 梁清波;王春龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號(hào)院40號(hào)樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種拋光液供給裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，其中拋光液供給裝置包括：轉(zhuǎn)軸，其連接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)雙向的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)；基座組件，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸的外周側(cè)，起到支撐固定作用；擺臂，其連接于所述轉(zhuǎn)軸的頂部并可由轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)雙向擺動(dòng)；拋光液供給管，其經(jīng)由所述轉(zhuǎn)軸向上延伸并沿所述擺臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置；限位組件，用于在工作位和維護(hù)位限定所述擺臂的位置；標(biāo)尺機(jī)構(gòu)，用于在所述擺臂位于工作位時(shí)指示由所述拋光液供給管流下的拋光液落點(diǎn)的位置信息。