一種清洗刷對中裝置和晶圓清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023002429.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213716852U 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN213716852U 申請公布日 2021-07-16
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王劍 申請（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號院40號樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種清洗刷對中裝置和晶圓清洗裝置，所述清洗刷對中裝置包括滾刷工裝、晶圓工裝和卡緊機(jī)構(gòu)；所述晶圓工裝設(shè)置在晶圓清洗裝置的殼體中，其由殼體中的支撐滾輪定位；所述滾刷工裝設(shè)置于所述晶圓工裝的兩側(cè)，其能夠沿水平方向移動以靠近及遠(yuǎn)離所述晶圓工裝；所述卡緊機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述殼體的頂部并位于晶圓工裝的上側(cè)，其通過抵接所述晶圓工裝的外緣以保持晶圓工裝的位置。