一種拋光液輸送裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110499303.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113442068A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113442068A 申請公布日 2021-09-28
分類號 B24B57/02（2006.01）I;B24B37/015（2012.01）I;B24B37/10（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 趙德文;魏聰;劉遠(yuǎn)航;李長坤 申請（專利權(quán)）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號院40號樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種拋光液輸送裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，拋光液輸送裝置包括：基座，基座上設(shè)有基座孔；轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸設(shè)在基座孔內(nèi)，且轉(zhuǎn)軸設(shè)置為在基座孔內(nèi)可選擇性地轉(zhuǎn)動；懸臂，懸臂相對于轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地連接在轉(zhuǎn)軸上，其內(nèi)部中空；拋光液管，拋光液管穿過基座孔后伸入懸臂內(nèi)，用于輸送拋光液；噴嘴組件，與拋光液管連通，噴嘴組件包括噴嘴座和設(shè)于噴嘴座下方的多個噴嘴；光照單元，光照單元環(huán)繞拋光液管設(shè)置以對其中的拋光液進(jìn)行照射加熱并通過控制光照單元照射拋光液的時長來調(diào)節(jié)拋光液的溫度，和/或，不同噴嘴處分別設(shè)有光照單元以實現(xiàn)不同噴淋位置拋光液的不同溫度控制；光照單元設(shè)置在懸臂內(nèi)部并被懸臂全封閉包圍以防止漏光對晶圓造成損傷。