晶圓清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022398431.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213468778U 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN213468778U 申請公布日 2021-06-18
分類號 B08B1/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 許振杰;王同慶 申請（專利權）人 華海清科（北京）科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)地盛北街1號院40號樓11層1107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了晶圓清洗裝置，其包括：殼體；支撐組件，其位于所述殼體中，用于可旋轉(zhuǎn)地支撐沿豎直方向設置的待清洗的晶圓；清洗刷，其平行、間隔設置并繞其軸線滾動；護板，其設置于所述清洗刷的上側(cè)，以阻擋清洗刷滾動產(chǎn)生的流體濺落至晶圓表面。