一種用于65KeV雙等離子體離子源質(zhì)子引出的引出電極
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011614982.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112652509A | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112652509A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號(hào) | H01J3/40;H01J3/04 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李文亮;周博文;侯瑞;張鵬蛟;張鴻;孫安;李俊周 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安德信科技集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 顧翰林 |
| 地址 | 210046 江蘇省南京市棲霞區(qū)仙林大道163號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于65KeV雙等離子體離子源質(zhì)子引出的引出電極，屬于離子源技術(shù)領(lǐng)域，包括從前至后依次設(shè)置的陽(yáng)極、前隔套、抑制電極、后隔套、地電極和法蘭盤；前隔套與后隔套均為陶瓷隔套。本發(fā)明是一種可抑制二次電子回到離子源的雙等離子體離子源質(zhì)子引出的引出電極。 |
