一種用于65KeV雙等離子體離子源質(zhì)子引出的引出電極

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023297171.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213845209U 公開（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN213845209U 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) H01J3/40（2006.01）I;H01J3/04（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李文亮;周博文;侯瑞;張鵬蛟;張鴻;孫安;李俊周 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安德信科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 顧翰林
地址 210046江蘇省南京市棲霞區(qū)仙林大道163號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于65KeV雙等離子體離子源質(zhì)子引出的引出電極，屬于離子源技術(shù)領(lǐng)域，包括從前至后依次設(shè)置的陽極、前隔套、抑制電極、后隔套、地電極和法蘭盤；前隔套與后隔套均為陶瓷隔套。本實(shí)用新型是一種可抑制二次電子回到離子源的雙等離子體離子源質(zhì)子引出的引出電極。