一種電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822095403.5 申請日 -
公開（公告）號 CN209442658U 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN209442658U 申請公布日 2019-09-27
分類號 C01B32/50（2017.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 周大榮; 俞健; 陳志誠 申請（專利權(quán)）人 上海啟元空分技術(shù)發(fā)展股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 上海啟元空分技術(shù)發(fā)展股份有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)和裕路150號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于氣體生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)系統(tǒng)。該生產(chǎn)系統(tǒng)主要包括：二氧化碳脫硫罐(F1)，回?zé)崞?E1)，加熱器(EH1)，催化轉(zhuǎn)化爐(F2)，水冷卻器(WE2)，再生式干燥器，原料二氧化碳過冷器(RU1)，第一級汽提塔(C1)，第一級汽提塔冷凝器(RU2)，塔頂分離器(G1)，C1塔底再沸器(E2)，第二級汽提塔(C2)，第二級汽提塔冷凝器(RU3)，塔頂分離器(G2)，產(chǎn)品二氧化碳過冷器(RU4)，電子級超純二氧化碳液體貯罐(CG3)，C2塔底再沸器(EH3)，以及用于連接各設(shè)備的若干閥門與管線。本實(shí)用新型所提供的電子級超純二氧化碳的生產(chǎn)系統(tǒng)及其產(chǎn)品可得到廣泛應(yīng)用，具有良好的市場前景。