一種穩(wěn)定風(fēng)量風(fēng)壓的設(shè)備及其內(nèi)部設(shè)置的壓力控制機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021865848.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213001559U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213001559U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;F04D27/00(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 王貝易;孫濤;許東京 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 盛奕半導(dǎo)體科技（無(wú)錫）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 趙華;賈傳美 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園E2-111 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種穩(wěn)定風(fēng)量風(fēng)壓的設(shè)備及其內(nèi)部設(shè)置的壓力控制機(jī)構(gòu)，通過控制風(fēng)量和風(fēng)壓達(dá)到晶圓表面潔凈的目的；包括一種穩(wěn)定風(fēng)量風(fēng)壓的設(shè)備以及一種壓力控制機(jī)構(gòu)；一種穩(wěn)定風(fēng)量風(fēng)壓的設(shè)備，包括，壓力控制機(jī)構(gòu)，風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，風(fēng)道系統(tǒng)，控制系統(tǒng)，機(jī)架；壓力控制機(jī)構(gòu)設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)壓力控制機(jī)構(gòu)固定安裝在所述機(jī)架的上層；每個(gè)壓力控制機(jī)構(gòu)均與風(fēng)道系統(tǒng)固定連接；所述風(fēng)道系統(tǒng)連通所述壓力控制機(jī)構(gòu)及風(fēng)機(jī)系統(tǒng)；所述控制系統(tǒng)分別與所述壓力控制機(jī)構(gòu)和風(fēng)機(jī)系統(tǒng)電性連接；本實(shí)用新型的有益效果為：代替廠務(wù)，為晶圓加工提供充分的換氣效率，且比廠務(wù)更加精準(zhǔn)地控制風(fēng)壓，降低腔室壓力波動(dòng)對(duì)工藝的影響。?? |
