一種基于風速均一化的ECS裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120892607.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215276528U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215276528U 申請公布日 2021-12-24
分類號 B01D53/18（2006.01）I;B01D53/78（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 王貝易;孫濤;侯新建 申請（專利權(quán)）人 盛奕半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司
代理機構(gòu) 無錫華源專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔婕
地址 214000江蘇省無錫市中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園E2-111
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及廢氣凈化技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種基于風速均一化的ECS裝置。其包括處理箱體，所述處理箱體內(nèi)沿著廢氣處理方向依次設(shè)置第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第一隔板下端固定連接處理箱體下箱板，第一隔板上端固定連接處理箱體上箱板，第一隔板和處理箱體前端箱體之間形成廢氣的預(yù)處理室，第一隔板面向多個導(dǎo)風管進風口位置處設(shè)置多個相互平行的第一噴淋管，多個第一噴淋管分別固定在多個第一管架上，多個第一管架固定在第一隔板上。本實用新型通過噴淋的洗滌水能夠有效吸收處理半導(dǎo)體清洗工藝過程中產(chǎn)生的廢氣中的有害物質(zhì)；通過設(shè)置整流板，廢氣從第一整流板和第二整流板的整流孔通過時能夠風速均一化，提高后續(xù)吸附效率。