帶有壓力控制功能的半導(dǎo)體清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120894477.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215276611U | 公開（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215276611U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號(hào) | B01D53/78（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 王貝易;孫濤;侯新建 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 盛奕半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 崔婕 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園E2-111 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝廢氣清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種帶有壓力控制功能的半導(dǎo)體清洗設(shè)備。其包括主機(jī)架，所述主機(jī)架內(nèi)固定風(fēng)道，所述風(fēng)道上并排設(shè)置多個(gè)風(fēng)道進(jìn)風(fēng)口，每個(gè)風(fēng)道進(jìn)風(fēng)口上連接一個(gè)進(jìn)風(fēng)筒體出風(fēng)端，所述進(jìn)風(fēng)筒體的進(jìn)風(fēng)端伸出主機(jī)架；所述進(jìn)風(fēng)筒體和風(fēng)道之間設(shè)置壓力控制單元，所述壓力控制單元包括定筒，定筒出氣端和風(fēng)道進(jìn)風(fēng)口連通，定筒內(nèi)通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接轉(zhuǎn)筒，定筒上端通過連接件可拆卸的連接電機(jī)支架，電機(jī)支架上固定控制電機(jī)，控制電機(jī)輸出端伸入定筒中并連接轉(zhuǎn)筒。本實(shí)用新型的進(jìn)風(fēng)筒體內(nèi)的噴淋嘴向進(jìn)入進(jìn)氣法蘭端面的廢氣噴淋洗滌液，從而凈化廢氣中的有害物質(zhì)；壓力控制單元能夠控制壓力大小，穩(wěn)定上級(jí)設(shè)備壓力。 |
