一種能夠去除金屬離子的風(fēng)機(jī)過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120803242.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215276196U 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN215276196U 申請公布日 2021-12-24
分類號 B01D46/00（2006.01）I;B01D53/74（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 王貝易;孫濤;侯新建 申請（專利權(quán)）人 盛奕半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔婕
地址 214000江蘇省無錫市中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園E2-111
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及空氣過濾技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種能夠去除金屬離子的風(fēng)機(jī)過濾裝置。其包括外殼體，所述外殼體上端面通過連接件可拆卸的連接兩個(gè)上蓋板，所述兩個(gè)上蓋板并排設(shè)置，兩個(gè)上蓋板上分別設(shè)置進(jìn)風(fēng)口，所述進(jìn)風(fēng)口處設(shè)置初效過濾器；兩個(gè)所述初效過濾器正下方分別設(shè)置一個(gè)風(fēng)扇組件，初效過濾器出風(fēng)口和風(fēng)扇組件進(jìn)風(fēng)口之間設(shè)置整流罩。本實(shí)用新型結(jié)通過設(shè)置化學(xué)過濾器，能夠去除半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中存在的酸堿氣體和金屬離子，減少工藝上的不良現(xiàn)象；兩個(gè)并排設(shè)置的風(fēng)扇組件之間相互獨(dú)立工作，同時(shí)處理兩個(gè)通道的空氣；風(fēng)扇組件的平衡支架和減震套的設(shè)置能夠提高風(fēng)扇組件工作穩(wěn)定性，避免振動(dòng)對氣流的影響。