一種泡生法生長藍(lán)寶石晶體的引晶方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510529154.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105019023B 公開（公告）日 2017-08-11
申請公布號 CN105019023B 申請公布日 2017-08-11
分類號 C30B29/20;C30B17/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李東振;馬遠(yuǎn);邱一豇;吳勇;周健杰 申請（專利權(quán)）人 江蘇中電振華晶體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京一格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 滑春生
地址 226500 江蘇省南通市如皋市如城鎮(zhèn)海陽南路（南延）1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種泡生法生長藍(lán)寶石晶體的引晶方法，利用籽晶輻射散熱開口的非旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)，引晶時包括如下步驟：（1）籽晶下浸熔體液面3—5mm；（2）通過等待非旋轉(zhuǎn)對稱結(jié)構(gòu)的散熱口散熱，使籽晶向一側(cè)優(yōu)先?生長出晶盤；（3）以3—12mm/h的平均提拉速度對籽晶進(jìn)行提拉，提拉過程中采用間隔式瞬間提升，并旋轉(zhuǎn)給定角度，間隔式瞬間提升后等待散熱口方向再次生長出晶盤，以便進(jìn)行下一次瞬間提升；（4）重復(fù)步驟（3）至晶節(jié)長度為60—80mm，形成螺旋狀結(jié)構(gòu)晶節(jié)，且固液相界面當(dāng)量橫截面直徑為40—60mm時，結(jié)束引晶。本發(fā)明的優(yōu)點在于：可獲螺旋形狀引晶結(jié)構(gòu)，使籽晶缺陷和位錯可最大程度上得到消除；不易出現(xiàn)斷裂，能提高晶體成品率、易于產(chǎn)業(yè)化。