一種藍(lán)寶石晶體導(dǎo)模法生長(zhǎng)裝置及生長(zhǎng)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410541528.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104264215B 公開(kāi)（公告）日 2017-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN104264215B 申請(qǐng)公布日 2017-02-08
分類號(hào) C30B15/34(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 薛衛(wèi)明;馬遠(yuǎn);帕維爾.斯萬(wàn)諾夫;吳勇;牛沈軍;周健杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇中電振華晶體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 滑春生
地址 226500 江蘇省南通市如皋市如城鎮(zhèn)海洋南路（南延）1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石晶體導(dǎo)模法生長(zhǎng)裝置及生長(zhǎng)方法，所述藍(lán)寶石晶體導(dǎo)模法生長(zhǎng)裝置，包括晶體生長(zhǎng)爐，爐內(nèi)具有一用于裝氧化鋁溶液的外坩堝、一置于外坩堝口上方并與外坩堝口配合的吊盤以及一倒置于外坩堝內(nèi)的內(nèi)坩堝；使用上述藍(lán)寶石晶體導(dǎo)模法生長(zhǎng)裝置生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)方法，利用通氣管向倒置內(nèi)坩堝內(nèi)注入混合性排液氣體，同時(shí)在熱場(chǎng)內(nèi)通入混合性保護(hù)性氣體。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)長(zhǎng)晶過(guò)程中保持坩堝內(nèi)熔體液面高度，且系統(tǒng)不會(huì)被堵塞且無(wú)振動(dòng)，同時(shí)有效增加Mo/W等金屬熱場(chǎng)使用壽命，簡(jiǎn)化裝料過(guò)程，同時(shí)因模具上沿遠(yuǎn)離熔體，不易變形，也可延長(zhǎng)模具使用壽命，降低長(zhǎng)晶成本。