一種高效的蝕刻設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201711265402.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN107833853A | 公開（公告）日 | 2018-03-23 |
| 申請公布號 | CN107833853A | 申請公布日 | 2018-03-23 |
| 分類號 | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張進元 | 申請（專利權(quán)）人 | 昆山市蘇元電子集團有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 蘇州六一專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 沈陳 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市昆山市千燈鎮(zhèn)華濤路108號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種高效的蝕刻設(shè)備，包括底板、位于所述底板上方的噴藥裝置、位于所述噴藥裝置左側(cè)的支架裝置、設(shè)置于所述支架裝置上的電機裝置、位于所述底板上方的支撐板裝置、設(shè)置于所述底板上的旋轉(zhuǎn)板裝置、設(shè)置于所述支架裝置上的噴水裝置。本發(fā)明能夠?qū)娺^后的化學(xué)藥液及水充分的分開回收，進而可以減少資源的浪費，并且可以防止對環(huán)境造成污染，操作簡單，自動化程度高，使用方便。 |
