一種光刻膠供給管路清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022439348.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213591293U 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN213591293U 申請公布日 2021-07-02
分類號 B08B9/032（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 王延安;王曉偉 申請（專利權(quán)）人 蘇州理碩科技有限公司
代理機構(gòu) 成都明濤智創(chuàng)專利代理有限公司 代理人 畢雅鳳
地址 215000江蘇省蘇州市中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城10幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光刻膠供給管路清洗裝置，涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，解決了目前對光刻膠供給管路清洗后，管路的內(nèi)壁會附著殘留的清洗液，從而影響供給管路清洗后首次使用的問題，其技術(shù)方案要點是：包括清洗倉，所述清洗倉中設(shè)置有出水泵，出水泵的輸出端設(shè)置有延伸至清洗倉外部的清洗管；還包括干燥倉，所述干燥倉內(nèi)設(shè)置有熱風(fēng)機和抽風(fēng)機，所述熱風(fēng)機和抽風(fēng)機的輸出端分別設(shè)置有熱風(fēng)管和抽風(fēng)管；所述熱風(fēng)管和抽風(fēng)管的端部均設(shè)置有連接結(jié)構(gòu)；達(dá)到提高整體裝置實用性的效果。