負(fù)性光刻膠組合物和形成光刻膠圖案的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011598952.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112731764A 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN112731764A 申請公布日 2021-04-30
分類號 G03F7/004;G03F7/075;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30;G03F7/38 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王曉偉 申請（專利權(quán)）人 蘇州理碩科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州領(lǐng)躍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王寧
地址 215000 江蘇省蘇州市中國(江蘇)自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城10幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種負(fù)性光刻膠組合物和形成光刻膠圖案的方法，該負(fù)性光刻膠組合物包括：組分(1)：含有多個重復(fù)單元的樹脂，所述樹脂的重復(fù)單元中含有羥基基團(tuán)；組分(2)：自由基發(fā)生劑；組分(3)：交聯(lián)劑，交聯(lián)劑采用含硅氧烷基的交聯(lián)劑。本發(fā)明的負(fù)性光刻膠組合物采用含硅氧烷基的交聯(lián)劑，負(fù)性光刻膠的成像性能基本無變化，但含硅氧烷的交聯(lián)劑卻在成像圖形方面展現(xiàn)了良好的耐熱性能，經(jīng)130℃下烘烤150秒后烘后圖形形狀幾乎不變，形狀保持良好。