一種均勻布料光刻膠涂布吸頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022445170.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213023935U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213023935U 申請公布日 2021-04-20
分類號 G03F7/16(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 楊江兵;王曉偉 申請（專利權(quán)）人 蘇州理碩科技有限公司
代理機構(gòu) 成都明濤智創(chuàng)專利代理有限公司 代理人 畢雅鳳
地址 215000江蘇省蘇州市中國(江蘇)自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城10幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種均勻布料光刻膠涂布吸頭，涉及光刻膠涂布技術(shù)領(lǐng)域，解決了目前涂布吸頭與晶圓定位不精準，以使在甩膠過程中各個位置離心力不均勻而導(dǎo)致光刻膠在晶圓的端面涂布不均勻，產(chǎn)生邊緣鋸齒現(xiàn)象的問題，其技術(shù)方案要點是：包括吸頭主體，所述吸頭主體包括由下至上依次設(shè)置的底盤和托盤，所述底盤和托盤均為圓盤狀，且底盤和托盤的圓心重合；所述托盤的內(nèi)部設(shè)置有安裝腔，且托盤的上端面設(shè)置有開口；所述安裝腔內(nèi)設(shè)置有定位機構(gòu)；所述底盤和托盤貫穿設(shè)置有通孔；達到降低操作難度和提高工作效率的效果。??