一種正性光刻膠組合物和形成光刻膠圖案的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010452566.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111538210A | 公開（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111538210A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-14 |
| 分類號(hào) | G03F7/039(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王曉偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州理碩科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州領(lǐng)躍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 蘇州理碩科技有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市中國(江蘇)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城12幢401-88 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種正性光刻膠組合物和形成光刻膠圖案的方法。該正性光刻膠組合物包括以下組分：組分(1)：含有多個(gè)重復(fù)單元的樹脂，所述樹脂的重復(fù)單元中含有酚羥基基團(tuán)；組分(2)：光致產(chǎn)酸劑；組分(3)：含有乙烯基醚基團(tuán)的熱交聯(lián)劑。其中，組分(1)和組分(3)在前烘過程中通過弱的架橋反應(yīng)進(jìn)行固化，與不含苯環(huán)的羥基樹脂相比，本發(fā)明的組分(1)和組分(3)的成膜固化效果更好，然后再用光致產(chǎn)酸劑產(chǎn)生的光酸去切斷熱交聯(lián)劑和樹脂間的弱的化學(xué)結(jié)合，進(jìn)行脫保護(hù)作用，從而使得曝光區(qū)域的樹脂的堿溶性增大，可被堿性顯影液洗去，從而達(dá)到曝光后光刻膠的正性成像目的。?? |
