聚酰亞胺光刻膠及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010553260.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111722470A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111722470A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-29 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王曉偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州理碩科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 蘇州理碩科技有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城12幢401-88 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種聚酰亞胺光刻膠及其使用方法。所述聚酰亞胺光刻膠以重量份計(jì)，包括如下原料組分：聚酰亞胺樹(shù)脂100份、光酸發(fā)生劑0.5～5份，及熱交聯(lián)劑5～10份；其中，所述聚酰亞胺樹(shù)脂的制備方法包括如下步驟：將二胺單體和二酐單體進(jìn)行聚合反應(yīng)；對(duì)所述聚合反應(yīng)所得產(chǎn)物中的羧基進(jìn)行酯化；其中，所述二胺單體和/或所述二酐單體的結(jié)構(gòu)中包含酚羥基，所述二胺單體與二酐單體的摩爾比為0.5～1：1。該聚酰亞胺光刻膠既可以用于傳統(tǒng)的g?h?i線、g線和i線，也可以通過(guò)感光劑的改變用于短波長(zhǎng)的KrF和ArF光源，實(shí)現(xiàn)更高的解像度，適用面寬。?? |
