一種光刻膠軟烘干裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022439578.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213023934U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213023934U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G03F7/16(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 范傳新;王曉偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州理碩科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都明濤智創(chuàng)專利代理有限公司 | 代理人 | 畢雅鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市中國(guó)(江蘇)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城10幢102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光刻膠軟烘干裝置，涉及光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，解決了目前涂膠晶片在烘箱內(nèi)烘干時(shí)，涂膠晶片受熱不均勻，造成烘干不徹底，使得薄膜與墊底的粘附度不足，同時(shí)部分晶片熱板直接接觸加熱時(shí)，極易造成晶片爆裂，造成成品率底下的問(wèn)題，其技術(shù)方案要點(diǎn)是：包括開(kāi)口設(shè)置的烘箱主體，烘箱主體開(kāi)口的兩端對(duì)稱設(shè)置有可將烘箱主體的開(kāi)口封住的兩個(gè)箱蓋；烘箱主體的內(nèi)部設(shè)置有隔溫層，隔溫層的頂端在兩個(gè)箱蓋合上時(shí)與箱蓋的端部相抵觸；烘箱的底端內(nèi)壁和兩個(gè)箱蓋的下端面分別設(shè)置有位于烘干倉(cāng)和冷卻倉(cāng)內(nèi)部的加熱器和冷卻器；烘箱主體的內(nèi)部還水平設(shè)置有與隔溫層轉(zhuǎn)動(dòng)連接的轉(zhuǎn)盤；達(dá)到提高產(chǎn)品成品率的效果。?? |
