一種酚醛樹脂光刻膠組合物及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010448326.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111538211A 公開（公告）日 2020-08-14
申請公布號 CN111538211A 申請公布日 2020-08-14
分類號 G03F7/075(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王曉偉 申請（專利權(quán)）人 蘇州理碩科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京酷愛智慧知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州理碩科技有限公司
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城10棟102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種酚醛樹脂光刻膠組合物及其制備方法，涉及光刻膠制備領(lǐng)域，所述的酚醛樹脂光刻膠組合物包括如下重量份數(shù)的原料組分：硅氧烷酚醛樹脂5?15份、重氮萘醌磺酸酯類感光劑2?3份、流平劑0.2?0.4份、交聯(lián)劑0.5?1份、溶劑50?100份；所述的硅氧烷酚醛樹脂的結(jié)構(gòu)式如式1所示。式1：式1中，R1是C1?C6直鏈或支鏈烷基、C1?C6甲氧基、羧基、羥基、氧代、芳香基和硝基中的一種；R2是C1?C6直鏈或支鏈烷基、C1?C6甲氧基、羧基、羥基、氧代、芳香基和硝基中的一種；R3是C1?C6直鏈或支鏈烷基、C1?C6甲氧基、羧基、羥基、氧代、芳香基和硝基中的一種；m＞80％，n≤5％，5％＜p＜10％。??